平台规格(mm) |
精密石板盘精度等级 |
|||
000级平面度 |
00级平面度 |
0级平面度 |
1级平面度 |
|
平面度公差(um) |
||||
300×300×70 |
1.5 |
3 |
5.5 |
11 |
300×400×70 |
1.5 |
3 |
6 |
12 |
400×400×70 |
2 |
3.5 |
6.5 |
13 |
400×500×100 |
2 |
3.5 |
7 |
14 |
400×600×100 |
2 |
3.5 |
7 |
14 |
400×630×100 |
2 |
3.5 |
7 |
14 |
450×600×100 |
2 |
3.5 |
7 |
14 |
500×600×100 |
2 |
3.5 |
7 |
14 |
500×800×100 |
2 |
4 |
8 |
16 |
600×900×100 |
2.5 |
4.5 |
9 |
18 |
600×900×130 |
2.5 |
4.5 |
9 |
18 |
1000×630×150 |
2.5 |
4.5 |
9 |
18 |
1000×750×150 |
2.5 |
4.5 |
9 |
18 |
1000×1000×150 |
2.5 |
5 |
10 |
20 |
1000×1500×200 |
2.9 |
5.7 |
11.3 |
22.6 |
1000×1600×200 |
3 |
6 |
12 |
24 |
1000×2000×200 |
3.5 |
6.5 |
13 |
26 |
1500×2000×200 |
3.5 |
7 |
14 |
28 |
1500×2000×300 |
3.5 |
7 |
14 |
28 |
1500×3000×300 |
3.5 |
7 |
14 |
28 |
2000×3000×300 |
4.5 |
8 |
18 |
36 |
2000×4000×400 |
5.5 |
11 |
22 |
44 |